國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展釋放著旺盛的設(shè)備市場(chǎng)需求，在復(fù)雜的國(guó)際形勢(shì)等因素影響下，設(shè)備國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程被賦能。

集微網(wǎng)不完全統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)顯示，2022 年上半年有超過(guò) 30 個(gè)設(shè)備類項(xiàng)目取得新進(jìn)展。其中，簽約項(xiàng)目超 18 個(gè)、開工項(xiàng)目超 14 個(gè)、進(jìn)入竣工投產(chǎn)階段項(xiàng)目超 2 個(gè)。從環(huán)節(jié)來(lái)看，晶圓制造與測(cè)試類設(shè)備項(xiàng)目熱度頗高。

2022 年上半年設(shè)備類項(xiàng)目概況：江蘇地區(qū)項(xiàng)目密集，晶圓制造方向熱度高

集微網(wǎng)統(tǒng)計(jì)發(fā)現(xiàn)，2022 年 1-6 月份簽約 / 開工項(xiàng)目主要集中于長(zhǎng)三角地區(qū)，占項(xiàng)目總數(shù)比超 70%。其中，晶圓制造與測(cè)試設(shè)備方向項(xiàng)目居多，占該區(qū)域項(xiàng)目總數(shù)近 70%。

具體來(lái)看，在長(zhǎng)三角地區(qū)，江蘇項(xiàng)目以占比超 40% 領(lǐng)銜，其次是浙江、上海。

在江蘇地區(qū)，蘇州與無(wú)錫上半年設(shè)備類項(xiàng)目密集落地與開工，包括一期投資德瀛睿創(chuàng)半導(dǎo)體設(shè)備項(xiàng)目(3 億元)、長(zhǎng)川科技半導(dǎo)體 AOI 設(shè)備業(yè)務(wù)總部項(xiàng)目、晟豐電子半導(dǎo)體先進(jìn)制程設(shè)備研發(fā)與量產(chǎn)項(xiàng)目(5.5 億元)、卓程微半導(dǎo)體設(shè)備(昆山)有限公司半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)項(xiàng)目(3 億元)等。

依據(jù)制造環(huán)節(jié)將半導(dǎo)體設(shè)備分為前道晶圓制造設(shè)備、封裝設(shè)備和測(cè)試設(shè)備，晶圓制造與測(cè)試設(shè)備項(xiàng)目熱度更高。集微網(wǎng)統(tǒng)計(jì)顯示，在 1-6 月設(shè)備類簽約與開工項(xiàng)目中，晶圓制造設(shè)備占比 34%，其次測(cè)試設(shè)備占比 32%，封裝設(shè)備類項(xiàng)目占比為 19%。

此外，從 1-6 月開工數(shù)來(lái)看，各地在設(shè)備類項(xiàng)目推動(dòng)的進(jìn)展上總體呈現(xiàn)平穩(wěn)中走高趨勢(shì)，3、4 月份是上半年設(shè)備類項(xiàng)目簽約的高潮階段。

部分項(xiàng)目概況一覽

簽約

鴻浩半導(dǎo)體設(shè)備開發(fā)項(xiàng)目

鴻浩光電在佛山南海區(qū)投資建設(shè)半導(dǎo)體精密加工廠房、研發(fā)實(shí)驗(yàn)室等。項(xiàng)目占地約 50 畝，計(jì)劃總投資約 20 億元，其中固定資產(chǎn)投資總額 12 億元。

晶盛研發(fā)中心(杭州)暨半導(dǎo)體智能裝備生產(chǎn)制造基地項(xiàng)目

項(xiàng)目總投資 10.3 億元，簽約杭州臨平區(qū)，將建設(shè)晶盛研發(fā)中心(杭州)暨半導(dǎo)體智能裝備生產(chǎn)制造基地。

上海衍梓薄膜沉積設(shè)備項(xiàng)目

項(xiàng)目簽約青島萊西經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)，上海衍梓智能科技有限公司專注于半導(dǎo)體核心工藝 —— 化學(xué)薄膜沉積設(shè)備制造生產(chǎn)，其核心產(chǎn)品 VPE 反應(yīng)爐已實(shí)現(xiàn)自主可控。萊西項(xiàng)目總投資 5 億元，投產(chǎn)后將成為該行業(yè)全國(guó)第三家、山東省首家接入芯片頭部企業(yè)生產(chǎn)線并實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)的半導(dǎo)體薄膜沉積裝備公司。

德瀛睿創(chuàng)半導(dǎo)體設(shè)備項(xiàng)目

項(xiàng)目簽約宜興經(jīng)開區(qū)，德瀛睿創(chuàng)半導(dǎo)體智能裝備一期項(xiàng)目總投資 3 億元，將建設(shè) SiC 碳化硅切片設(shè)備、半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備、半導(dǎo)體薄膜設(shè)備生產(chǎn)線。

長(zhǎng)川科技半導(dǎo)體 AOI 設(shè)備業(yè)務(wù)總部

長(zhǎng)川科技半導(dǎo)體 AOI 設(shè)備業(yè)務(wù)總部項(xiàng)目落戶蘇州工業(yè)園區(qū)，是長(zhǎng)川科技在國(guó)內(nèi)成立的首個(gè)獨(dú)立半導(dǎo)體 AOI 業(yè)務(wù)總部，計(jì)劃未來(lái)五年內(nèi)，蘇州公司人員規(guī)模將達(dá)到 600 人，知識(shí)產(chǎn)權(quán)申請(qǐng)數(shù)量超 150 件。

開工

芯源微電子集成電路前道關(guān)鍵設(shè)備研發(fā)及生產(chǎn)項(xiàng)目

該項(xiàng)目預(yù)計(jì)建設(shè)期為 30 個(gè)月，由公司全資子公司上海芯源微企業(yè)發(fā)展有限公司實(shí)施，計(jì)劃總投資額為 6.4 億元，項(xiàng)目建成并達(dá)產(chǎn)后，主要用于研發(fā)與生產(chǎn)前道 ArF 光刻工藝涂膠顯影機(jī)、浸沒式光刻工藝涂膠顯影機(jī)及單片式化學(xué)清洗機(jī)等高端半導(dǎo)體專用設(shè)備。

中晟半導(dǎo)體研發(fā)中心及產(chǎn)業(yè)化基地項(xiàng)目

中晟半導(dǎo)體研發(fā)中心及產(chǎn)業(yè)化基地項(xiàng)目總投資 5.4 億元，占地面積 23 畝。項(xiàng)目投資主體為中晟半導(dǎo)體 (上海) 有限公司，業(yè)務(wù)聚焦第二、三代半導(dǎo)體分立器件生產(chǎn)的關(guān)鍵 MOCVD (金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積) 設(shè)備和技術(shù)的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及技術(shù)服務(wù)。

長(zhǎng)川科技集成電路高端智能制造基地項(xiàng)目

長(zhǎng)川科技在杭州落地的項(xiàng)目主要為產(chǎn)能擴(kuò)張。該項(xiàng)目建筑面積約 13.7 萬(wàn)平方米，建成后將集研發(fā)、生產(chǎn)、辦公、測(cè)試、服務(wù)等多功能于一體，滿足公司高端裝備研發(fā)及生產(chǎn)制造需求。

晟豐電子半導(dǎo)體先進(jìn)制程設(shè)備研發(fā)與量產(chǎn)項(xiàng)目

項(xiàng)目分兩期進(jìn)行投資建設(shè)，將開發(fā)半導(dǎo)體封裝測(cè)試設(shè)備、IC 載板制程設(shè)備、集成電路板印刷設(shè)備及真空塞孔制程設(shè)備業(yè)務(wù)。設(shè)立研發(fā)中心和封裝測(cè)試中心，定位企業(yè)總部運(yùn)營(yíng)

竣工 / 投產(chǎn)

上海中微臨港產(chǎn)業(yè)化基地(一期)項(xiàng)目主廠房封頂

項(xiàng)目位于上海市臨港集成電路產(chǎn)業(yè)園，總建筑面積約 18 萬(wàn)平方米，歷經(jīng) 133 天實(shí)現(xiàn)順利封頂，項(xiàng)目建成后，將滿足集成電路、泛半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā)、測(cè)試和產(chǎn)業(yè)化需求

先進(jìn)科技(惠州)有限公司芯片封裝設(shè)備三期項(xiàng)目封頂

廣東惠州引進(jìn)的 ASM 項(xiàng)目已于 6 月中旬竣工，將帶來(lái)的年產(chǎn) 3000 臺(tái)(套)/年半導(dǎo)體、LED\CMOS 圖像傳感器等芯片封裝設(shè)備的產(chǎn)能。

關(guān)鍵詞： 開工項(xiàng)目 江蘇地區(qū) 晶圓制造 國(guó)際形勢(shì)