上海新陽在投資者互動平臺表示，針對 Arf 光刻膠最新進度的問題作出回應，稱近期公司已有 ArF 光刻膠產(chǎn)品，受疫情及客戶產(chǎn)線情況等各類因素影響導致認證進度較慢，但公司已有部分光刻膠產(chǎn)品取得客戶訂單。

另外，上海新陽針對公司生產(chǎn)的 krf 光刻膠品質(zhì)與銷量也做出回應，其稱公司生產(chǎn)的 KrF 光刻膠已經(jīng)拿到部分晶圓制造客戶訂單，并表示目前光刻膠訂單在上海生產(chǎn)，還未大規(guī)模量產(chǎn)。

資料顯示，上海新陽目前主要從事兩類業(yè)務：一類是集成電路制造及先進封裝用關鍵工藝材料及配套設備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和服務，并為客戶提供整體化解決方案;另一類是環(huán)保型、功能性涂料的研發(fā)、生產(chǎn)及相關服務業(yè)務，并為客戶提供專業(yè)的整體涂裝業(yè)務解決方案。其主要產(chǎn)品是半導體晶圓制造及先進封裝用電鍍液及添加劑、半導體晶圓制造用清洗劑、半導體封裝用電子化學材料、半導體制造用高端光刻膠產(chǎn)品、半導體配套設備產(chǎn)品。

上海新陽迄今承擔國家 02 專項研發(fā)項目有：“65-45nm 芯片銅互連超高純電鍍液及添加劑研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”、“20-14nm 先導產(chǎn)品工藝開發(fā)”項目任務課題“高速自動電鍍線研發(fā)與產(chǎn)業(yè)”項目、“銅互連電鍍工藝技術及產(chǎn)品的研發(fā)”等。

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