近日，中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)(以下簡(jiǎn)稱“中國(guó)科大”)網(wǎng)站對(duì)外發(fā)布，中國(guó)科大在 6G 濾波器領(lǐng)域取得重要進(jìn)展。該研究成果由微電子學(xué)院左成杰教授研究團(tuán)隊(duì)在鈮酸鋰(LiNbO3)壓電薄膜上設(shè)計(jì)并實(shí)現(xiàn)了 Q 值超過 100000 的高頻(6.5 GHz)微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)諧振器，與文獻(xiàn)中現(xiàn)有的工作相比，把 Q 值提升了 2 個(gè)數(shù)量級(jí)。

其中，左成杰教授為論文通訊作者，微電子學(xué)院博士生戴忠斌為論文第一作者。此項(xiàng)研究工作得到了國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃和中央高?；究蒲谢鸬馁Y助，也得到了中國(guó)科大微電子學(xué)院、中國(guó)科大微納研究與制造中心、中國(guó)科大先進(jìn)技術(shù)研究院和中國(guó)科學(xué)院無(wú)線光電通信重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室的支持。

據(jù)悉，相關(guān)成果以“Ultra HighQLithium Niobate Resonator at 15-Degree Three-Dimensional Euler Angle”為題于 5 月 16 日在線發(fā)表在電子器件領(lǐng)域知名期刊 IEEE Electron Device Letters 上。

研究人員提出了一種基于三維歐拉角 α 在 x-cut 單晶鈮酸鋰壓電薄膜上設(shè)計(jì)并制備高頻 MEMS 諧振器的方法。通過設(shè)計(jì)諧振器的電極結(jié)構(gòu)，工作于 6.5 GHz 的 S1 振動(dòng)模態(tài)被激發(fā)，并且當(dāng)聲波傳播方向(α)位于 15° 時(shí)，諧振器并聯(lián)諧振頻率(fp)處的品質(zhì)因數(shù)(Qp)高達(dá) 131540，對(duì)應(yīng)的諧振器優(yōu)值 k2?Qp 和 fp?Qp 分別達(dá)到 6300 和 8.6×1014Hz。

如圖 2 所示，與近 10 年其它的工作在類似頻段的諧振器比較，該新型 MEMS 諧振器把 Q 值提升了 2 個(gè)數(shù)量級(jí)，并且首次突破了諧振頻率與 Q 值乘積(f?Q)這一難以同步提升的諧振器優(yōu)值極限。更重要的是，相關(guān)工作成功發(fā)現(xiàn)了利用三維歐拉角可以對(duì)鈮酸鋰薄膜介電損耗和聲學(xué)損耗進(jìn)行調(diào)控的新機(jī)理，為未來微納器件在高頻無(wú)線通信、醫(yī)學(xué)超聲成像、智能信息處理和物聯(lián)網(wǎng)傳感器等應(yīng)用領(lǐng)域打開了更多的可能性。

關(guān)鍵詞： 左成杰教授 微電子學(xué)院 中國(guó)科大 中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué) 微電子學(xué)院